半導(dǎo)體器件的恒溫恒濕試驗通常在中創(chuàng)儀器中進(jìn)行，試驗標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)JESD22-A100D。試驗步驟如下：

1. 將半導(dǎo)體器件放置在試驗箱中。

   
   

2. 設(shè)定試驗溫度范圍在30℃到65℃之間，但僅在65℃駐留。

   
   

3. 設(shè)定試驗濕度范圍在90%RH到98%RH之間。

   
   

4. 控制溫度變化速率為8.75℃/h~17.5℃/h。

   
   

5. 進(jìn)行試驗，測試時間為1008（-24，+168）小時。

   
   

6. 在測試后的48小時內(nèi)以及96小時內(nèi)，將設(shè)備恢復(fù)到正常環(huán)境。若設(shè)備不是放在試驗箱恢復(fù)，而是放在一個沒有干燥劑的密封袋內(nèi)，考慮到1/3的烘干（吸濕）速率，則上面的時間分別延長為144和288小時。

   
   

7. 在溫度從65℃到30℃再到65℃的過程中，相對濕度可能掉到80%，溫度箱應(yīng)有減壓功能。

   
   

8. 在測試過程中，含有離子污染物的治具需要受到管控。

   
   

9. 去離子水的阻抗要求最小阻抗＞1MΩ?cm。

   
   

10. 如果進(jìn)行周期性上電測試，需要指定周期頻率和占空比（duty cycle）。

    
    

請注意，半導(dǎo)體器件的恒溫恒濕試驗可能會因設(shè)備型號、標(biāo)準(zhǔn)差異而有所不同，具體請參考實際設(shè)備的操作手冊和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。