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半導(dǎo)體器件的恒溫恒濕試驗通常在中創(chuàng)儀器中進(jìn)行,試驗標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)JESD22-A100D。試驗步驟如下:

將半導(dǎo)體器件放置在試驗箱中。
設(shè)定試驗溫度范圍在30℃到65℃之間,但僅在65℃駐留。
設(shè)定試驗濕度范圍在90%RH到98%RH之間。
控制溫度變化速率為8.75℃/h~17.5℃/h。
進(jìn)行試驗,測試時間為1008(-24,+168)小時。
在測試后的48小時內(nèi)以及96小時內(nèi),將設(shè)備恢復(fù)到正常環(huán)境。若設(shè)備不是放在試驗箱恢復(fù),而是放在一個沒有干燥劑的密封袋內(nèi),考慮到1/3的烘干(吸濕)速率,則上面的時間分別延長為144和288小時。
在溫度從65℃到30℃再到65℃的過程中,相對濕度可能掉到80%,溫度箱應(yīng)有減壓功能。
在測試過程中,含有離子污染物的治具需要受到管控。
去離子水的阻抗要求最小阻抗>1MΩ?cm。
如果進(jìn)行周期性上電測試,需要指定周期頻率和占空比(duty cycle)。
請注意,半導(dǎo)體器件的恒溫恒濕試驗可能會因設(shè)備型號、標(biāo)準(zhǔn)差異而有所不同,具體請參考實際設(shè)備的操作手冊和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。